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  • 派瑞林真空氣相沉積 派瑞林真空氣相沉積(PECVD)是一種常用的薄膜沉積技術(shù),用于在材料表面上制備薄膜。它是在真空環(huán)境中使用氣相化學(xué)反應(yīng)來沉...
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  • 晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝... 晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置包括三溫區(qū)管式爐,特殊設(shè)計的爐管及配套氣路一組,晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置通過特殊設(shè)計的管...
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