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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:迷你石墨烯CVD實(shí)驗(yàn)室設(shè)備

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
迷你石墨烯CVD實(shí)驗(yàn)室設(shè)備采用1200℃迷你管式爐,功能齊全占地面積較小,迷你石墨烯CVD實(shí)驗(yàn)室設(shè)備專為石墨烯生產(chǎn)設(shè)計(jì)。
詳情介紹:

○ 產(chǎn)品介紹

本套CVD系統(tǒng)專為石墨烯生產(chǎn)設(shè)計(jì),采用1200℃迷你管式爐,配有高精度質(zhì)量流量計(jì)以及薄膜真空規(guī)。相比于常規(guī)的皮拉尼電阻規(guī),薄膜規(guī)的讀數(shù)精準(zhǔn),不受氣體種類影響,十分適合真空鍍膜工藝。同時設(shè)備配有可燃?xì)怏w檢測裝置,聯(lián)動出氣口電磁閥,一旦出現(xiàn)泄漏電磁閥即可自行關(guān)閉保證**。
該套設(shè)備功能齊全占地面積較小,十分適合實(shí)驗(yàn)室制備CVD

○ 技術(shù)參數(shù)    

1200℃迷你管式爐參數(shù) 

供電電壓 AC220V,50Hz
*大功率 2KW
加熱溫區(qū) 單溫區(qū)200mm 恒溫區(qū)長 100mm
加熱元件
耐熱合金絲
熱電偶
K型
工作溫度
≤1150℃
升溫速率
建議≤10℃
控溫
方式AI-PID 30段工藝曲線,帶有過熱和斷偶保護(hù),精度+-1℃
爐管
高純石英φ50mm O.D x 450mm L
真空系統(tǒng)
機(jī)械泵  抽速1.1L/s 極限真空 5Pa
三路質(zhì)量流量計(jì)參數(shù)

閥門類型
不銹鋼針閥
氣路數(shù)量
三路
承壓范圍
0.05~0.3MPa
量程
Ar 0~500sccm
H2 0~200sccm
CH4 0~10sccm
流量控制范圍
±1.5%
混氣罐容積
750mL
氣路材料
304不銹鋼
管道接口
6.35mm卡套接頭
供電電源
AC220V 50Hz

○ 免責(zé)聲明

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